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論文

Improvement in surface roughness of nitrogen-implanted glassy carbon by hydrogen doping

高広克巳*; 竹島直樹*; 川面澄*; 永田晋二*; 山本春也; 鳴海一雅; 楢本洋

JAERI-Review 2001-039, TIARA Annual Report 2000, p.188 - 189, 2001/11

https://doi.org/10.11484/jaeri-review-2001-039

窒素イオン注入によるガラス状炭素の表面改質の研究において、表面粗さの増大が問題になった。そこで、非晶質炭素の結合状態を変更するため、水素イオンの追加注入による効果を調べた。実際の実験では、水素イオン注入の代わりに重水素イオンを注入して、結合状態と表面粗さとの相関を調べた。その結果、炭素-窒素の結合状態は表面粗さの増大に関係し、一方水素を付加的に導入すると、炭素,窒素及び水素が3元系の化合物を作り、その結果表面平滑性が保たれることを見出した。